在ICP光譜分析中，儀器出現各種各樣的故障問題是難免的，故障的產生將給測試工作帶來許多的不利因素：如果操作者掌握一些儀器故障的簡單排除方法，會給日常測試工作帶來很大便利。如果遇到復雜的儀器故障問題，操作者如果能準確而詳盡地描述故障現象，也會給維修人員給予極大的幫助，使廠家維修人員可以不再現場的情況下對儀器的故障正確判斷，有的故障可以通過電話指導幫助操縱人員排除；即使相對復雜的問題，廠家維修人員也能在現場時做好充足的準備工作，使故障問題可以盡快解決。

目前各個廠家各個型號的ICP光譜儀計算機系統都有它自己的診斷程序，在診斷程序的幫助下會給操作者提供正確的檢查方法，方便操作者查找儀器的故障，所以在儀器出現故障時，操作者首先要確認儀器的計算機系統是否正常工作，根據計算機系統的提示尋找故障部位。另外操作者還可以通過聽、看和摸等方式來確定儀器故障。ICP光譜儀的故障與其使用環境、儀器的性能、操作人員的業務能力及日常維護水平密切相關。其故障可分為性能故障和使用故障兩大類。性能故障時由于儀器本身設計或安裝或某些元器件不符合要求而引起；使用故障時儀器的使用環境不符合儀器的要求，或是由于操作者未按照規定要求使用和維護儀器不當而引起的。同一個故障既可能有性能故障引起，也能由使用故障而引起，因此要根據儀器故障現象來一一識別。